上海铸金进口日本原装扫描电镜(SEM)_日本日立扫描电子显微镜SU1510型的主机宽度仅为55cm体型小巧，具有3.0nm分辨率的高性能可变压力扫描电镜。
一、日立扫描电子显微镜SU1510型的特点
1. 仪器主体比过去减小20%，可以更加自由地选择安装场地。
2. 标配低真空功能，可以对不导电进行无喷涂观察。高低真空转换一键完成。
3. 可载入最大直径153mm，高度为60mm(WD=15mm)的样品，并进行元素分析。
4. 强大的鼠标控制功能，可实现电镜的所有操作。
5. 分子泵真空系统，洁净无污染。

二、上海铸金进口日本原装扫描电镜(SEM)_日本日立扫描电子显微镜SU1510型的技术规格
项目  内容
二次电子分辨率  3.0nm（高真空，30kV）
背散射电子分辨率  4.0nm(低真空：6Pa，30kV）
倍率  5～300,000倍
加速電圧  0.3～30 kV
样品台  X ：0～80 mm
Y ：0～40 mm
Z ：5～50 mm
T ：-20°～ 90°
R：360°
样品台控制  手动（可选：2轴马达）
最大载入样品尺寸  直径：153 mm
最大观察范围  直径：126 mm（XYR并用）
最大样品高度  60 mm（WD=15 mm）
低真空范围  6-270Pa(从菜单设定)
灯丝  预对中钨灯丝
物镜光阑  4孔可变光阑
枪偏压  固定比例偏压、手动偏压和自动4偏压
检测器  二次电子检测器，高灵敏度半导体背散射电子检测器
EDX分析位置  WD=15,TOA=35°
真空系统  分子泵1台，机械泵1台
安全措施  停电，漏电，自动保护

上海铸金进口日本原装扫描电镜(SEM)_日本日立扫描电子显微镜SU6600新型热场扫描电镜配有VP功能的新型热场扫描电镜SU6600型可以提供200nA的探针电流，并且配置了VP功能，可以满足不导电样品的无蒸镀观测。

配有VP功能的新型热场扫描电镜SU6600型的特点
1.最大200nA的探针电流，可满足EDX、WDX、EBSP、CL等应用
2.配有VP功能，可自动实现压差光阑的安装和取出
3.配有二次电子探头和背散射探头，可选配ESED
4.大型分析型样品室，可方便的安装多种分析附件
5.可装载150mm直径、40mm高样品
6.电脑控制的5轴优中心马达样品台

配有VP功能的新型热场扫描电镜SU6600型上海铸金进口日本原装扫描电镜(SEM)_日本日立扫描电子显微镜技术参数
二次电子分辨率：1.2nm @ 30KV,3.0nm @ 1KV,4.5nm@30KV,150Pa
背散射电子分辨率：3.5nm @ 30KV
放大倍率：10~600,000（输出尺寸127x96mm）
电子枪类型：热场发射
探针电率：1pA~200nA
加速电压：0.5~30KV
物镜光阑：自清洁、4孔可动式
束闸：电磁式
样品台：电脑控制的5轴优中心马达样品台
X：0~110mm
Y：0~110mm
Z：4~40mm
T：-5°~+70°
R：360°
最大样品尺寸：直径150mm x 高40mm
探头：二次电子探头
背散射电子探头

上海铸金进口日本原装扫描电镜(SEM)_日本日立扫描电子显微镜之SU-70场发射扫描电镜
日立热场发射扫描电镜SU70型采用成熟的超高分辨率半内透镜技术和热场发射电子枪，为探索纳米世界打开了一扇新的大门。为了满足在同一台仪器上进行综合分析(需要大探针电流)和超高分辨率观察的需求，日立开发了SU-70。

一、SU70型日立热场发射扫描电镜的特点
1.100nA的大探针电流
新开发的肖特基电子枪保证100nA的大探针电流
2. 通用的分析型样品室
预留了多种接口，可以安装以下附件进行
分析：EDX,WDX,EBSP,STEM,BSE, CL,超低
温台，样品室CCD
3. 分析模式(FF模式)
观察磁性样品及EBSP、WDS分析
4. 超高分辨率 1.0nm/15kV，1.6nm/1kV(减速模式)，超高分辨率的获得利用了日立
已被检验的半内透镜技术。
5. 超级ExB技术用于控制SE/BSE信号检测，实现消除放电现象及信号混合
6. 电子束减速技术保证了超低电压的高分辨成像，用于浅表面观察

二、SU70型日立热场发射扫描电镜的技术规格
1. 二次电子图象分辨率
1.0nm(15KV.WD=4.0mm)
6nm(1KV.WD=1.5mm,减速模式)
2.5nm(1KV.WD=1.5mm)
2. 放大倍数
低放大倍数模式20-2,000x
高放大倍数模式100-800,000x
3. 电子光学
电子枪    ZrO/W 肖特基电子枪
电流      1pA-100nA
加速电压  0.5-30KV(标准模式)
着陆电压  0.1-2.0KV(减速模式)
透镜系统  3级电磁线圈系统
物镜光阑  4孔光阑,真空外选择和细调
4. 样品台
样品台控制  5轴马达控制
移动范围
X     0-110mm
Y     0-110mm
z     1.5-40mm
T     -5O-+700
R     360O
样品尺寸  直径150mm(标准)；(最大)    直径200mm(可选)
5. 探测器
二次电子探测器
背散射电子探测器(可选)
STEM探测器(可选)
法拉第杯(可选)
X射线能谱仪(可选)
X射线波谱仪(可选)
EBSP探测器(可选)
阴极荧光探测器(可选)